直线导入器
直线导入器
直线导入器
编号:
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一维升降台有两种驱动方式，分别手动和电动。手动操作时，先标记原始位置，然后一边转动手轮一边观测指针在标尺上的指示变化，到达所要求的位置即可。电动操作时，先设定零位，然后通过控制电机脉冲数达到要求的位置。电动操作是如需手动调零，可在电机另一轴伸安装小手轮。手动型精度是1mm，电动型精度0.2mm。功能与特点：1、适用于超高真空系统2、可实现真空腔室内负载的线性运动3、行程60mm/100mm4、接口CF50/C5、采用波纹管结构6、驱动：电动、手动 型号L（mm）BPYFSSJCF50-L6060BPYFDSJCF50-L6060BPYFSSJCF50-L100100BPYFDSJCF50-L100100BPYFSSJCF40-L5050BPYFDSJCF40-L5050BPYFSSJCF40-L100100
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三维升降台在一维升降台基础上增加X/Y水平调节，采用一体式和分体式两种结构形式，其功能与特点：1、X/Y方向行程±5（接口CF40）2、X/Y方向行程±12.5（接口CF50）3、采用一体型波纹管4、适用于超高真空系统5、可实现真空腔室内负载的线性运动，及X/Y方向的微调运动6、Z轴采用手动或步进电机驱动，行程100mm 7、手动控制X/Y方向的微调，最大可输出±12.5的行程8、通常用于调节真空腔室内样品的交接或检测位置
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磁力拨叉产品是在线性机械手的基础上开发出的小型简易型直线导入机构，除了具有线性机械手的有点外，具有体积小不占空间，易操作等特点。另外前端可加装摇摆波纹管，或者加装驱动做成双动夹持模式。·耦合扭矩0.7N.m·主要用于挡板驱动·其他小负载转动驱动·可在手动款基础上直接增加电动或气动模块
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线性机械手采用手动驱动，在线性行程方向上外部操作手柄与其输出端保持同步，而外部操作手柄的旋转（如需要）则可以实现输出端的同步旋转或者小行程线性移动，输出端的位置可以通过锁紧螺钉固定。
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电动型线性机城手采用双步进电机驱动，其中—台步进电机驱动输出端在0-609mm行程中进行直线运动，另一台步进电机驱动输出端进行0-10mm的小升降运动，设计方案实现了在直线运动中进行升降操作。电动型线性机械手行程方向的直线运动机构中有三个限位开关（两个极限位置、1个零点位置），小升降机构有两个限位开关（上下极限位置），这些限位开关在出厂前已经设置完成。限位开关通过航空插头向步进电机驱动器提供位置信息。技术参数指标项参数值安装法兰CF50线性耦合力170N旋转耦合力矩3.5NM直线行程609mm/914mm升降小行程10mm负载能力最大工作载荷不超过10NM使用压力大气～2×10-8Pa下可靠使用烘烤温度耐烘烤温度达到150℃驱动方式集成式步进电机/手动直线重复精度+-0.5mm位置反馈有安装方向水平（安装调试后，要求尾部支撑）选型表复合型线性机械手BPCCDCF50D-MF-L609升降型线性机械手BPCCDCF50D-MH-L609BPCCDCF50DG-MF-L914BPCCDCF50DG-MH-L914
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波纹管调节器：用于调节机械手安装初始状态。
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远程手动操控杆：用于加长外部操作手柄，实现较远距离操作。
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内支撑导向模块：安装在真空内机械手行程轴线上，矫正机械手输出轴远端状态。
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