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溅射离子泵

SIP001
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产品参数

PRODUCT PARAMETERS

型号 SIP001 SIP005 SIP010 SIP025 SIP050 SIP075 SIP100 SIP200 SIP400 SIP500 SIP500T SIP600 SIP1000 SIP1500 SIP2000
抽气速率（L/S）
（再生抽速最大值）		 N2 1 (at 1×10-5Pa) N2 5 (at 1×10-5Pa) N2 10 (at 1×10-5Pa) N2 25 (at 1×10-5Pa) N2 50 (at 1×10-5Pa) N2 75 (at 1×10-5Pa) N2 100 (at 1×10-5Pa) N2 200 (at 1×10-5Pa) N2 400 (at 1×10-5Pa) N2 500 (at 1×10-5Pa) N2(LN2) 850 (at 1×10-5Pa) N2 600 (at 1×10-5Pa) N2 1000 (at 1×10-5Pa) N2 1500 (at 1×10-5Pa) N2 2000 (at 1×10-5Pa)
极限压强（Pa）
（环境温度≤25℃）		 ≤1.0×10-6 ≤5.0×10-7 ≤1.0×10-8 ≤1.0×10-8 ≤8.0×10-9 ≤3.0×10-9 ≤3.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤3.0×10-9 ≤6.0×10-10(LN2) ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9 ≤2.0×10-9
启动压强（Pa） ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3 ≤1.0×10-3
接口法兰 CF16 CF40 CF40 CF40  CF100 CF63 CF100 CF150 CF150 CF150 CF150 CF200 CF200 CF200 CF250
阳极电压（kV） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc） ≤+7（dc）
烘烤温度（℃） ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300 ≤300
内置烘烤功率（kW） —— —— —— —— 0.2 0.28 0.28 0.62 0.68 0.8 0.8 0.8 1.2 2 3
外形尺寸（mm）
（L×W×H）		 114×54×56 143×79×81 221.5×94×126 173×134×206.5 246×156×237 296×163×308 296×163×308 442×155.6×444.5 442×246×444.5 447×328×444.5（500A） 447×578×444.5 492×328×451.5 512×582×451.5 512×382×950 550×620×950
重量（Kg） 1.2 2.5 8.5 12.5 22 35 35 60 95 130 138 138 224 300 450

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