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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
以高真空、超高真空、超洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得（干式真空泵）及系统集成。
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