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三维升降台

三维升降台

三维升降台在一维升降台基础上增加X/Y水平调节,采用一体式和分体式两种结构形式,其功能与特点:1、X/Y方向行程±5(接口CF40)2、X/Y方向行程±12.5(接口CF50)3、采用一体型波纹管4、适用于超高真空系统5、可实现真空腔室内负载的线性运动,及X/Y方向的微调运动6、Z轴采用手动或步进电机驱动,行程100mm 7、手动控制X/Y方向的微调,最大可输出±12.5的行程8、通常用于调节真空腔室内样品的交接或检测位置
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产品编号
所属分类
升降台
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产品描述
参数
三维升降台在一维升降台基础上增加X/Y水平调节,采用一体式和分体式两种结构形式,其功能与特点:
1、X/Y方向行程±5(接口CF40)
2、X/Y方向行程±12.5(接口CF50)
3、采用一体型波纹管
4、适用于超高真空系统
5、可实现真空腔室内负载的线性运动,及X/Y方向的微调运动
6、Z轴采用手动或步进电机驱动,行程100mm 
7、手动控制X/Y方向的微调,最大可输出±12.5的行程
8、通常用于调节真空腔室内样品的交接或检测位置
 
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