线性机械手及配件
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编号:
线性机械手采用手动驱动，在线性行程方向上外部操作手柄与其输出端保持同步，而外部操作手柄的旋转（如需要）则可以实现输出端的同步旋转或者小行程线性移动，输出端的位置可以通过锁紧螺钉固定。
编号:
电动型线性机城手采用双步进电机驱动，其中—台步进电机驱动输出端在0-609mm行程中进行直线运动，另一台步进电机驱动输出端进行0-10mm的小升降运动，设计方案实现了在直线运动中进行升降操作。电动型线性机械手行程方向的直线运动机构中有三个限位开关（两个极限位置、1个零点位置），小升降机构有两个限位开关（上下极限位置），这些限位开关在出厂前已经设置完成。限位开关通过航空插头向步进电机驱动器提供位置信息。技术参数指标项参数值安装法兰CF50线性耦合力170N旋转耦合力矩3.5NM直线行程609mm/914mm升降小行程10mm负载能力最大工作载荷不超过10NM使用压力大气～2×10-8Pa下可靠使用烘烤温度耐烘烤温度达到150℃驱动方式集成式步进电机/手动直线重复精度+-0.5mm位置反馈有安装方向水平（安装调试后，要求尾部支撑）选型表复合型线性机械手BPCCDCF50D-MF-L609升降型线性机械手BPCCDCF50D-MH-L609BPCCDCF50DG-MF-L914BPCCDCF50DG-MH-L914
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波纹管调节器：用于调节机械手安装初始状态。
编号:
远程手动操控杆：用于加长外部操作手柄，实现较远距离操作。
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内支撑导向模块：安装在真空内机械手行程轴线上，矫正机械手输出轴远端状态。
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