升华器
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钛升华器采用CF35法兰安装方式，同时可安装3根发卡钛钼丝；钛升华器可直接与真空系统通过法兰连接，也可以与吸附阱复合使用（吸附阱通用接口为CF150法兰）。钛升华器标准深入长度升华丝ф2mmTiMo（3根）工作真空度10-1~10-10Pa工作温度-196~250℃烘烤温度≤300℃安装法兰CF35(70mmOD)最大工作电流52A初始升华电流48A 升华器抽气速率取决于钛升华速率、吸气面积、吸气位置温度和系统流导等因素；当真空度高于10-4Pa时，抽气速率完全取决于钛升华速率；在更好的真空环境下，其他因素更加重要；钛升华器对氢气、水、一氧化碳、氮气、氧气等其他具有可观抽速，对惰性、甲烷等气体无抽速。具体抽速如下：气体抽速（ls-1cm-2）20℃-196℃H2310H2O314CO911N2420O226CO289
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