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升华器

升华器

钛升华器采用CF35法兰安装方式,同时可安装3根发卡钛钼丝;钛升华器可直接与真空系统通过法兰连接,也可以与吸附阱复合使用(吸附阱通用接口为CF150法兰)。钛升华器标准深入长度升华丝ф2mmTiMo(3根)工作真空度10-1~10-10Pa工作温度-196~250℃烘烤温度≤300℃安装法兰CF35(70mmOD)最大工作电流52A初始升华电流48A   升华器抽气速率取决于钛升华速率、吸气面积、吸气位置温度和系统流导等因素;当真空度高于10-4Pa时,抽气速率完全取决于钛升华速率;在更好的真空环境下,其他因素更加重要;钛升华器对氢气、水、一氧化碳、氮气、氧气等其他具有可观抽速,对惰性、甲烷等气体无抽速。具体抽速如下:气体抽速(ls-1cm-2)20℃-196℃H2310H2O314CO911N2420O226CO289
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升华器
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产品描述
参数

钛升华器采用CF35法兰安装方式,同时可安装3根发卡钛钼丝;钛升华器可直接与真空系统通过法兰连接,也可以与吸附阱复合使用(吸附阱通用接口为CF150法兰)。

钛升华器标准深入长度

升华丝

ф2mm TiMo(3根)

工作真空度

10-1~10-10Pa

工作温度

-196~250℃

烘烤温度

≤300℃

安装法兰

CF 35(70mm OD)

最大工作电流

52 A

初始升华电流

48 A

 

 

 

升华器抽气速率取决于钛升华速率、吸气面积、吸气位置温度和系统流导等因素;当真空度高于10-4Pa时,抽气速率完全取决于钛升华速率;在更好的真空环境下,其他因素更加重要;钛升华器对氢气、水、一氧化碳、氮气、氧气等其他具有可观抽速,对惰性、甲烷等气体无抽速。

具体抽速如下:

气体

抽速(ls-1 cm-2)

20℃

-196℃

H2

3

10

H2O

3

14

CO

9

11

N2

4

20

O2

2

6

CO2

8

9

 

 

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