升华器
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升华器
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产品描述
参数
钛升华器采用CF35法兰安装方式,同时可安装3根发卡钛钼丝;钛升华器可直接与真空系统通过法兰连接,也可以与吸附阱复合使用(吸附阱通用接口为CF150法兰)。
钛升华器标准深入长度
升华丝 |
ф2mm TiMo(3根) |
工作真空度 |
10-1~10-10Pa |
工作温度 |
-196~250℃ |
烘烤温度 |
≤300℃ |
安装法兰 |
CF 35(70mm OD) |
最大工作电流 |
52 A |
初始升华电流 |
48 A |
|
|
升华器抽气速率取决于钛升华速率、吸气面积、吸气位置温度和系统流导等因素;当真空度高于10-4Pa时,抽气速率完全取决于钛升华速率;在更好的真空环境下,其他因素更加重要;钛升华器对氢气、水、一氧化碳、氮气、氧气等其他具有可观抽速,对惰性、甲烷等气体无抽速。
具体抽速如下:
气体 |
抽速(ls-1 cm-2) |
|
20℃ |
-196℃ |
|
H2 |
3 |
10 |
H2O |
3 |
14 |
CO |
9 |
11 |
N2 |
4 |
20 |
O2 |
2 |
6 |
CO2 |
8 |
9 |
上一个
无
下一个
无
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