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导模法蓝宝石晶体生长炉

该设备是采用导模法生长蓝宝石单晶体的专用设备。该设备由台架、炉室、上下提拉系统、真空获得及测量系统、加热电源、石墨热场（由用户提供）、水冷却系统、气路系统、运行控制系统等部分组成。

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产品编号

所属分类

导模法蓝宝石晶体生长炉

真空室结构:

炉室为双层水冷结构，由炉体和炉门两部分组成，炉门为前开门形式。炉室内壁材料采用316L不锈钢、外壁采用304不锈钢材料制造。采用氩弧焊焊接制成。

真空室尺寸:

炉室内径：Φ560mm 炉室内部高度：1250mm

极限真空度:

冷炉极限真空度：＜2Pa（空炉）

沉积源:

炉室内部高度：1250mm　提拉速度：0～60mm/h（上限可调8000）　提拉显示精度：0.001mm　籽晶杆行程：600mm　坩埚杆行程：200mm　真空系统型号：TRP-60直连机械泵　冷炉极限真空度：＜2Pa（空炉）

样品尺寸，温度:

宽150mm,长350mm

占地面积（长x宽x高）:

安装场地面积大于12㎡,场地高度不小于4.5m

电控描述:

控制系统由电控柜和控制面板组成，可对设备进行设定和操作。控制面板装有触摸屏、CCD显示屏，可控制真空泵的启停，真空、气路阀门开关，加热电源的功率等，可实时显示设备工作状态和主要技术参数。

工艺:

特色参数 :

数量

库存:

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产品描述

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产品概述：
该设备是采用导模法生长蓝宝石单晶体的专用设备。该设备由台架、炉室、上下提拉系统、真空获得及测量系统、加热电源、石墨热场（由用户提供）、水冷却系统、气路系统、运行控制系统等部分组成。

设备用途：
采用导模法生长蓝宝石晶体

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导模法蓝宝石晶体生长炉

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