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泡生法蓝宝石晶体生长炉
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1000
产品编号
所属分类
泡生法蓝宝石晶体生长炉
真空室结构:
由真空腔体、炉盖、炉底、法兰、管道组成
真空室尺寸:
φ850×1200(±2.5)mm
极限真空度:
6.0E-4Pa
沉积源:
转速/精度0.5-20rpm±5% ,提拉速度连续可调范围/精度0.05-10mm/h ±2%FS,快提拉速度连续升降可调10~80mm/min,称重量程/精度0-120KG/±10g,籽晶杆的行程350mm
样品尺寸,温度:
80-120Kg
占地面积(长x宽x高):
单台工作面积包括走道等的最小面积为14㎡,工作厂房不得低于4m
电控描述:
除引晶过程外,采用PAC全自动运行程序控制。彩色触摸屏可设有各类按键图标,具备参数设定、数据库记录、曲线显示、报警记录和查询、数据记录模式等功能。
工艺:
特色参数 :
数量
-
+
库存:
1
产品描述
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产品概述:
蓝宝石晶体生长炉为采用电阻加热方式的蓝宝石单晶体生长设备,利用泡生法原理最大可生长出85-120公斤重的蓝宝石晶体。设备中用于蓝宝石生长的真空腔体采用立式结构,真空腔体,包括上顶盖及底板都采用双层水冷却结构,上顶盖可开启。
设备用途:
采用泡生法生长蓝宝石晶体
上一个
无
下一个
无
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