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多功能样品台

多功能样品台产品
多功能样品台
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多功能样品台
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产品概述:沈阳科仪公司生产的多功能样品台,采用先进的设计工艺、模块化设计思路,通过不同的模块组合,实现自转、升降差动、高温抗氧化等功能。SKY样品台适用于各种先进的薄膜生长和沉积技术,包括MBE、PLD、磁控溅射和EB等,也可用于衬底退火、高温除气和材料改性。其主要模块包括:自转耦合模块、升降模块、加热器模块、样品托模块、电刷模块、安装法兰、接线模块、挡板模块等。各模块之间多数采用CF50/CF40/CF16等标准法兰接口对接,各部分功能介绍如下:自转耦合模块主要功能是实现产品自转,自带零点限位信号,在此基础上分成两种类型,一种附带差动结构,一种不带差动结构;升降模块满足真空室内部部分的整体移动,有50mm/100mm等几种标准行程可选择,其他行程可定制;加热器模块有1英寸~8英寸等多种尺寸供选择,加热器材质可根据加热温度及使用工况等进行选择;样品托模块常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋转拨套式等;电刷模块满足样品在自转过程中的RF或者DC电源的引入需求,可用于样品清洗或者辅助成膜;安装法兰通常根据样品大小配套成标准CF法兰,也可客户化定制;接线模块主要包括加热接线端、热偶接线端、DC/RF接线端三个部分,具体结构根据样品台是否需要引入DC/RF电源确定;挡板模块主要由样品挡板及其外部驱动构成,采用与升降模块同步移动的方式,操作更便捷。 产品优势  1、衬底最高加热温度1100℃;  2、可接入RF/DC;  3、自转,转速0~20转/分,连续可调,提供定位零点;  4、模块化设计允许多种组合配置选择;  5、样品尺寸容纳8英寸以下。 结构特点  1、直流或射频偏压引入模块,自转时可接电;  2、气动小升降模块,兼顾交接性和保温性;  3、大升降调节模块,调节样品伸出距离;  4、挡板模块,手动、气动选配; 性能参数:
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