多功能样品台
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产品编号
所属分类
多功能样品台
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+
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1
产品描述
参数
产品概述:
沈阳科仪公司生产的多功能样品台,采用先进的设计工艺、模块化设计思路,通过不同的模块组合,实现自转、升降差动、高温抗氧化等功能。SKY样品台适用于各种先进的薄膜生长和沉积技术,包括MBE、PLD、磁控溅射和EB等,也可用于衬底退火、高温除气和材料改性。
其主要模块包括:自转耦合模块、升降模块、加热器模块、样品托模块、电刷模块、安装法兰、接线模块、挡板模块等。各模块之间多数采用CF50/CF40/CF16等标准法兰接口对接,各部分功能介绍如下:
自转耦合模块主要功能是实现产品自转,自带零点限位信号;
升降模块满足真空室内部部分的整体移动,有50mm/100mm等几种标准行程可选择,其他行程可定制;
加热器模块有6英寸等多种尺寸供选择,加热器材质可根据加热温度及使用工况等进行选择;
样品托模块常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋转拨套式等;
电刷模块满足样品在自转过程中的RF或者DC电源的引入需求,可用于样品清洗或者辅助成膜;
安装法兰通常根据样品大小配套成标准CF法兰,也可客户化定制;
接线模块主要包括加热接线端、热偶接线端、DC/RF接线端三个部分,具体结构根据样品台是否需要引入DC/RF电源确定;
挡板模块主要由样品挡板及其外部驱动构成,采用与升降模块同步移动的方式,操作更便捷。
产品优势
1、衬底最高加热温度1100℃;
2、可接入RF/DC;
3、自转,转速0~20转/分,连续可调,提供定位零点;
4、模块化设计允许多种组合配置选择;
5、样品尺寸容纳6英寸以下。
结构特点
1、直流或射频偏压引入模块,自转时可接电;
2、大升降调节模块,调节样品伸出距离;
3、挡板模块,手动、气动选配;
性能参数:
上一个
无
下一个
无
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