旋转导入器
旋转导入器
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编号:
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具备CF16/CF25/CF40等多种接口型式采用波纹管传动方式适用于超高真空系统可实现真空腔室内的旋转运动无磁
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采用磁力耦合的方式控制转轴;安装方式为标准CF法兰,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;电机驱动,转动平稳,速度可调,减速比为2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
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采用磁力耦合的方式控制转轴;
安装方式为标准CF法兰,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;
电机驱动,转动平稳,速度可调,减速比为4:1;
漏率<1×10-8Pa.L/S;
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