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高能电子衍射仪
编号:
15Kv高能电子衍射仪采用发卡钨灯丝作为阴极材料,利用栅极、阳极形成聚焦透镜,实现对电子束的小斑点聚焦,电源稳定度优于千分之一,保证电子束的高相干性,提升对晶体表面分析能力,可用于MBE等高真空镀膜设备的材料表面原位分析。灯丝发卡钨灯丝工作真空度优于5X10-3Pa电子能量15Kev电子束斑100um安装法兰CF35电压稳定度0.1%灯丝电流1.5A偏转方式二维电偏转
多功能样品台
编号:
产品概述:沈阳科仪公司生产的多功能样品台,采用先进的设计工艺、模块化设计思路,通过不同的模块组合,实现自转、升降差动、高温抗氧化等功能。SKY样品台适用于各种先进的薄膜生长和沉积技术,包括MBE、PLD、磁控溅射和EB等,也可用于衬底退火、高温除气和材料改性。其主要模块包括:自转耦合模块、升降模块、加热器模块、样品托模块、电刷模块、安装法兰、接线模块、挡板模块等。各模块之间多数采用CF50/CF40/CF16等标准法兰接口对接,各部分功能介绍如下:自转耦合模块主要功能是实现产品自转,自带零点限位信号,在此基础上分成两种类型,一种附带差动结构,一种不带差动结构;升降模块满足真空室内部部分的整体移动,有50mm/100mm等几种标准行程可选择,其他行程可定制;加热器模块有1英寸~8英寸等多种尺寸供选择,加热器材质可根据加热温度及使用工况等进行选择;样品托模块常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋转拨套式等;电刷模块满足样品在自转过程中的RF或者DC电源的引入需求,可用于样品清洗或者辅助成膜;安装法兰通常根据样品大小配套成标准CF法兰,也可客户化定制;接线模块主要包括加热接线端、热偶接线端、DC/RF接线端三个部分,具体结构根据样品台是否需要引入DC/RF电源确定;挡板模块主要由样品挡板及其外部驱动构成,采用与升降模块同步移动的方式,操作更便捷。 产品优势  1、衬底最高加热温度1100℃;  2、可接入RF/DC;  3、自转,转速0~20转/分,连续可调,提供定位零点;  4、模块化设计允许多种组合配置选择;  5、样品尺寸容纳8英寸以下。 结构特点  1、直流或射频偏压引入模块,自转时可接电;  2、气动小升降模块,兼顾交接性和保温性;  3、大升降调节模块,调节样品伸出距离;  4、挡板模块,手动、气动选配; 性能参数:
直接转轴16B+直接转轴16A
编号:
具备CF16/CF25/CF40等多种接口型式采用波纹管传动方式适用于超高真空系统可实现真空腔室内的旋转运动无磁
磁力转轴
编号:
采用磁力耦合的方式控制转轴;安装方式为标准CF法兰,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;电机驱动,转动平稳,速度可调,减速比为2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
电动磁力转轴
编号:
采用磁力耦合的方式控制转轴;安装方式为标准CF法兰,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;电机驱动,转动平稳,速度可调,减速比为2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
磁力转轴
编号:
采用磁力耦合的方式控制转轴;安装方式为标准CF法兰,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;电机驱动,转动平稳,速度可调,减速比为2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
电动一维升降台
编号:
一维升降台有两种驱动方式,分别手动和电动。手动操作时,先标记原始位置,然后一边转动手轮一边观测指针在标尺上的指示变化,到达所要求的位置即可。电动操作时,先设定零位,然后通过控制电机脉冲数达到要求的位置。电动操作是如需手动调零,可在电机另一轴伸安装小手轮。手动型精度是1mm,电动型精度0.2mm。功能与特点:1、适用于超高真空系统2、可实现真空腔室内负载的线性运动3、行程60mm/100mm4、接口CF50/C5、采用波纹管结构6、驱动:电动、手动 型号L(mm)BPYFSSJCF50-L6060BPYFDSJCF50-L6060BPYFSSJCF50-L100100BPYFDSJCF50-L100100BPYFSSJCF40-L5050BPYFDSJCF40-L5050BPYFSSJCF40-L100100
三维升降台
编号:
三维升降台在一维升降台基础上增加X/Y水平调节,采用一体式和分体式两种结构形式,其功能与特点:1、X/Y方向行程±5(接口CF40)2、X/Y方向行程±12.5(接口CF50)3、采用一体型波纹管4、适用于超高真空系统5、可实现真空腔室内负载的线性运动,及X/Y方向的微调运动6、Z轴采用手动或步进电机驱动,行程100mm 7、手动控制X/Y方向的微调,最大可输出±12.5的行程8、通常用于调节真空腔室内样品的交接或检测位置
超高真空磁力拨叉
编号:
磁力拨叉产品是在线性机械手的基础上开发出的小型简易型直线导入机构,除了具有线性机械手的有点外,具有体积小不占空间,易操作等特点。另外前端可加装摇摆波纹管,或者加装驱动做成双动夹持模式。·耦合扭矩0.7N.m·主要用于挡板驱动·其他小负载转动驱动·可在手动款基础上直接增加电动或气动模块
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