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高能电子衍射仪

15Kv高能电子衍射仪采用发卡钨灯丝作为阴极材料,利用栅极、阳极形成聚焦透镜,实现对电子束的小斑点聚焦,电源稳定度优于千分之一,保证电子束的高相干性,提升对晶体表面分析能力,可用于MBE等高真空镀膜设备的材料表面原位分析。灯丝发卡钨灯丝工作真空度优于5X10-3Pa电子能量15Kev电子束斑100um安装法兰CF35电压稳定度0.1%灯丝电流1.5A偏转方式二维电偏转
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15Kv高能电子衍射仪采用发卡钨灯丝作为阴极材料,利用栅极、阳极形成聚焦透镜,实现对电子束的小斑点聚焦,电源稳定度优于千分之一,保证电子束的高相干性,提升对晶体表面分析能力,可用于MBE等高真空镀膜设备的材料表面原位分析。

灯丝

发卡钨灯丝

工作真空度

优于5X10-3Pa

电子能量

15Kev

电子束斑

100um

安装法兰

CF 35

电压稳定度

0.1%

灯丝电流

1.5 A

偏转方式

二维电偏转

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