磁控溅射镀膜系统_真空仪器设备_中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

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磁控溅射镀膜系统

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本沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构，采用行业领先的软件控制系统。

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