公司喜获2023年度辽宁省科学技术进步一等奖

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发布时间：2025-02-20 09:07
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日前，公司“面向集成电路制造领域的无油干式真空泵研发与产业化”项目喜获2023年度辽宁省科学技术进步一等奖。这是公司干式真空泵产品首次牵头获得辽宁省科学技术进步奖，是对干式真空泵产品技术创新性、社会经济效益极大的肯定。据悉，2023年度辽宁省科学技术奖励共申报838项项目，最终仅60个项目获授一等奖。

在国家、省、市、区的支持下，公司20年磨一剑，解决了国产干式真空泵在集成电路领域应用的技术创新瓶颈问题。目前干式真空泵产品已在中芯国际、长江存储、长鑫存储、Intel、北方华创等国内外主要芯片制造厂和设备厂批量应用，有效满足14nm先进逻辑芯片工艺以及128层及以上3D NAND等先进存储芯片工艺的生产需求，打破国外技术垄断，填补国内空白，是目前唯一在集成电路先进制程大批量应用的国产干泵，不但实现了适用于集成电路领域的国产干式真空泵从无到有、从有到优发展，更从根本上解决了被“卡脖子”的潜在风险，对我国集成电路产业自主可控发展起到了不可或缺的支撑作用，为辽宁省创建具有全国影响力的区域科技创新中心、谱写中国式现代化辽宁篇章注入强劲科技动力，为实现高水平科技自立自强和公司高质量发展再立新功。

辽宁省人民政府发文链接：https://www.ln.gov.cn/web/zwgkx/zfwj/szfwj/2025n/2025021714455625916/index.shtml

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