全球半导体产业链正经历重构与洗牌，供应链安全与自主可控成为国家战略的高频关键词。在这场科技竞逐中，支撑芯片制造的“真空系统”正悄然成为中国产业突围的新焦点。

作为芯片制造的“基础设施”，干式真空泵被誉为半导体设备中的“心脏”，广泛应用于光刻、刻蚀、CVD、PVD等前道工艺，是实现洁净制造环境的关键核心部件。过去相当长时间内，国产干式真空泵因芯片制造行业技术壁垒高、可靠性挑战大，一直处于“补位者”角色。但随着先进制程向7nm及以下不断演进，真空设备的战略价值愈发凸显，“卡脖子”之痛也加速了国产化的历史进程。

正是在这一背景下，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）凭借近七十年真空技术积淀与自主研发体系，持续突破关键瓶颈，打造出面向集成电路先进制程需求的干式真空泵国产解决方案，并率先实现规模化应用，成为国产替代的“中坚力量”。

垄断破局：实现本土干泵从0到1

半导体集成电路制程工艺复杂且苛刻，对真空系统提出了极高要求——不仅要求极限真空能力、高的稳定性、洁净度要求，还需应对腐蚀气体、粉尘颗粒、频繁启停等严酷工况。

• 稳定性：频繁启停、高温差、长周期运行对泵具可靠性提出挑战；

• 洁净度：微粒控制、氢气残留、油气污染等都可能导致晶圆缺陷；

• 可控性：压力波动控制、振动精准监测、异常快速响应成为关键标准。

中科仪对接国家战略需求，践行国家战略科技力量的责任与担当，着力解决真空行业关键核心技术问题。公司自2001年起全力投入半导体用干式真空泵的研发，经过廿余年持续攻坚，先后推出了WXG、JGM、JGH、JLG、SGL、SGM、SGH等多系列产品，并于2016年实现对逻辑芯片工厂的批量交付，2018年进一步批量进入存储芯片主线，成功打破了外资垄断格局，成为国内首家能够在成熟及先进工艺集成电路制造领域实现大规模量产应用的干式真空泵供应商。

中科仪核心产品包括：

• 罗茨干泵：具备高真空度、低振动、长寿命和无油润滑优势，适用于光刻、刻蚀、沉积等关键工艺；

• 涡旋干泵：结构紧凑、噪音低、维护周期长，被广泛用于刻蚀/CVD工艺；

• 智能真空干泵（即将推出）：集成温度、压力、状态等传感器，具备边缘计算能力，能够上传设备运行与故障预测数据，为智能制造体系提供设备数据源支持。

数智赋能：让设备更“聪明”

在“智造”日益成为衡量高端装备能力的时代，中科仪并未止步于硬件突破，而是深度融合智能制造与物联网平台，构建“全生命周期管理+数字孪生工厂”体系：

• 数字身份证系统：每一台泵具备全生命周期数据追踪，支持远程预测性维护；

• CMS实时监控系统：已实现设备的多参数在线感知（温度、压力、吸力、振动），并引入边缘计算模块，可在现场进行设备状态评估、故障预测，实现与客户工艺的深度耦合与异常响应；

• “一流”智能柔性产线：从模块化设计、动态装配、全面自动化测试，到智能感知技术的先进生产系统，提升产品交付效率与一致性。

中科仪产品已覆盖清洁、中等、苛刻等多场景工艺，并向光伏、面板、LED、锂电等泛半导体领域延展；

中科仪是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在集成电路领域清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。

AI赋能：“独乐”，不如“众乐”

“SKY AI赋能-真空模型系统”基于真空理论技术、真空设备设计制造、行业应用经验、生产试验等全部数据搭建，包括4大部分：真空人才培养、真空系统设计、真空行业应用、真空系统辅助决策。

人才培养：高效获取准确、优质的知识，迅速培养人才；

系统设计：理论技术普及，上下游供应链的逐渐成熟。企业均有机会参与到真空系统的开发和应用；

行业应用：不同规模的企业，基于不同行业案例借鉴，都有机会将成熟可靠真空技术应用于各行各业及高端产业；

辅助决策：真空系统在应用过程中，通过辅助决策功能向使用者提供合理的建议，达到优化客户工艺、延长附属设备使用寿命、提高稼动率、低碳节能环保的企业目标。

共建生态：本土“真空力量”的集体跃迁

干式真空泵的本土产业生态并非“单点突破”，而是一场系统性的产业跃迁。中科仪以国家重大专项为牵引，携手产业链上下游联合攻关，逐步形成“标准牵引—研发突破—应用验证—成果转化”的协同机制。

中科仪始终将支撑国家战略、解决产业痛点放在首位。国产干泵的价值，真正实现了从“能用”到“好用”、从“跟随”到“引领”的跨越。未来，中科仪将在技术升级、标准制定、生态建设等方向持续发力，致力于将中国干式真空泵从“可选项”提升为“优选项”，以“真空之芯”筑牢中国芯片制造的底座。

注：本文摘取自semi半导体制造杂志第九期