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高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统--DZS500
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高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统--DZS500

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热阻蒸发组件、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成,自动控制软件系统。
零售价
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市场价
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浏览量:
1000
产品编号
真空室结构:
U形前开门
真空室尺寸:
500x500x600mm
极限真空度:
≤6.67E-5Pa
沉积源:
4个11cc坩埚
样品尺寸,温度:
φ4英寸,1片,最高800℃
占地面积(长x宽x高):
约2.7米x1.7米x2.1米
电控描述:
全自动
工艺:
片内膜厚均匀性:≤±3%
特色参数 :
样品可自转,转速可调
数量
-
+
库存:
1
产品描述
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产品概述:
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热阻蒸发组件、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成,自动控制软件系统。

设备用途:
电子束蒸发可以蒸发高熔点材料,比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快,制成的薄膜纯度高、质量好,厚度可以较准确地控制,可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。
 

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