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碳化硅晶体生长炉

碳化硅晶体生长炉产品
碳化硅晶体生长炉
碳化硅晶体生长炉
碳化硅晶体生长炉
编号:
主要由炉室组件、上炉室组件、样品支撑机构、测温窗传动组件、真空获得及测量系统、气路系统、水路系统、感应加热系统、自动控制系统等组成。要求设备结构设计稳定,运行平稳,且有多项安全防护设施,质量流量及温度控制精确,整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器(PCC)控制,并可实现过程全自动(CCD)控制、信息记录。
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