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MOCVD镀膜设备

MOCVD镀膜设备产品
MOCVD镀膜设备
MOCVD镀膜设备
金属有机源气相沉积系统--MOCVD
编号:
MOCVD系统主要由真空室反应系统、气体(载气与气相有机源)输运控制系统、有机源蒸发输运控制系统、电源控制系统、尾气处理及安全保护报警系统组成。
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