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PECVD镀膜设备

PECVD镀膜设备产品
PECVD镀膜设备
PECVD镀膜设备
高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统---PECVD+热丝CVD400
编号:
系统主要由真空反应室、上盖组件、热丝架、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积系统--Cluster PECVD
编号:
系统主要由真空反应室、上盖组件、热丝架、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积系统--线列式PECVD
编号:
系统主要由真空反应室、上盖组件、热丝架、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
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