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导模法蓝宝石晶体生长炉
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导模法蓝宝石晶体生长炉

该设备是采用导模法生长蓝宝石单晶体的专用设备。该设备由台架、炉室、上下提拉系统、真空获得及测量系统、加热电源、石墨热场(由用户提供)、水冷却系统、气路系统、运行控制系统等部分组成。
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产品编号
真空室结构:
炉室为双层水冷结构,由炉体和炉门两部分组成,炉门为前开门形式。炉室内壁材料采用316L不锈钢、外壁采用304不锈钢材料制造。采用氩弧焊焊接制成。
真空室尺寸:
炉室内径:Φ560mm 炉室内部高度:1250mm
极限真空度:
冷炉极限真空度:<2Pa(空炉)
沉积源:
炉室内部高度:1250mm 提拉速度:0~60mm/h(上限可调8000) 提拉显示精度:0.001mm 籽晶杆行程:600mm 坩埚杆行程:200mm 真空系统型号:TRP-60直连机械泵 冷炉极限真空度: <2Pa(空炉)
样品尺寸,温度:
宽150mm,长350mm
占地面积(长x宽x高):
安装场地面积大于12㎡,场地高度不小于4.5m
电控描述:
控制系统由电控柜和控制面板组成,可对设备进行设定和操作。控制面板装有触摸屏、CCD显示屏,可控制真空泵的启停,真空、气路阀门开关,加热电源的功率等,可实时显示设备工作状态和主要技术参数。
工艺:
特色参数 :
数量
-
+
库存:
1
产品描述
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产品概述:
该设备是采用导模法生长蓝宝石单晶体的专用设备。该设备由台架、炉室、上下提拉系统、真空获得及测量系统、加热电源、石墨热场(由用户提供)、水冷却系统、气路系统、运行控制系统等部分组成。

设备用途:
采用导模法生长蓝宝石晶体
 

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