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真空互联装置
编号:SN20170622103145580
类别:国家大科学工程设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途
        用于真空制备设备、真空检测设备、真空分析设备等工作室之间的样品在高真空或超高真空环境中的传递。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备、分析检测。
      

    设备组成
        主要由进样室、过渡室、传输室、小车转向室、样品加热除气、样品等离子清洗、传输小车、磁力传递机构、抽气系统、真空测量、电控系统、计算机控制系统及安装机台等部分组成。

     

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