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沈阳科仪亮相国家“十二五”科技创新成就展

    国家十二五科技创新成就展览于201661号到7号在北京展览馆举办,本次成就展以创新驱动发展,科技引领未来为主题,以支撑经济转型发展为主线,共分为七个组成部分。重大专项作为第二部分的第一单元,主题是支撑产业转型升级,促进经济社会协调发展。重点展示在十二五期间国务院领导下,重大专项在攻克关系国家产业命脉的核心关键技术、研发满足国家战略亟需的重大装备和产品、推动战略性新兴产业发展、促进经济转型升级以及改善民生福祉等方面取得的重大创新和成就。

    中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(沈阳科仪)作为承担02专项的代表企业之一惊艳亮相。61日,成果展盛大召开,沈阳科仪公司的干式真空泵产品作为在现场运行设备,得到了海内外众多参观者的关注。

    此次成果展,沈阳科仪公司展出的是主打产品罗茨干式真空泵。罗茨干式真空泵针对半导体标准工艺特殊要求提供洁净真空环境,设备具备高耐腐蚀、高可靠性、节能、安全的小体积、大抽速等特点,是IC主要工艺设备中的核心附属设备,等同于设备的心脏,如果真空干泵无法正常运行,设备便无法有效地进行生产。该设备的成功研制增强了国产真空获得设备的配套能力,降低了国产化半导体工艺的核心零部件的采购成本,促进国产化半导体产品具备产业化能力及市场竞争力。





 
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