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L型MEB-400型分子束外延生长设备
编号:SN20151013153841637
类别:蒸发镀膜设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途

        用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。

     

    设备组成

        该系统主要由外延生长室、制备室、快速进样系统(进样室)、真空获得系统、进样系统、传输导轨、高能电子衍射系统、电器控制系统、计算机控制系统等组成。

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