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PLD-450型激光镀膜设备
编号:SN20150801152302885
类别:激光镀膜设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途

       用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

     

    设备组成

        系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。

     

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