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激光晶体生长炉
编号:SN20150801140701480
类别:激光晶体生长炉
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途
    蓝宝石晶体生长炉主要用于制备蓝宝石晶体,可广泛应用于LED行业及手机、平板电脑等领域。

    设备组成
    蓝宝石晶体生长炉主要由整机底座、真空炉系统、晶体拉伸系统、抽气系统、真空测量系统、供气系统、加热系统、控制系统、热场、水路系统、辅助系统等组成。

     

    技术指标

     

    型号

    TDL80E

    冷态空炉极限真空度

    1Pa

    炉体

    800×1300mm

    籽晶杆

    炉内行程

    600mm

    转速/精度

    0-20rpm±1%

    提拉速度连续可调范围/精度

    0.1-50mm/h±1%

    快提拉速度连续升降可调

    150mm/min

    额定总功率

    80kw

    循环水用量

    10 m3/h

    真空配置

    罗茨干泵机组、插板阀

    真空测量系统

    测量范围:大气压到1×10-3Pa

    自动控制系统

    PLC全自动运行程序

    设备占地面积(长×宽×高)

    2000×1200×3500mm3

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