PRODUCT

产品中心

首页 » 产品中心 » 真空获得设备 » 系列溅射离子泵

系列溅射离子泵

    沈阳科仪拥有丰富的真空行业经验,早在1990年,就已经成功研制极限真空可达-9Pa的三级溅射离子泵。经过二十几年的潜心研制,我们不断地把新的设计理念和技术加入其中,2014年我们推出新一代复合式二级溅射离子泵。

    沈阳科仪生产的新一代溅射离子泵,可获得极高真空。与国外同类产品相比极限压力更低、体积更小、重量更轻。它适合于抽吸空气或惰性气体,在抽气过程中无振动。目前产品系列抽速范围25L/S—1000L/S,还可根据客户要求提供定制产品。

 

产品优势—超高真空下极高的抽气能力

    1、SKY溅射离子泵结构采取仿真及优化设计,在1×10-7Pa真空度条件下具有不低于名义抽速的85%抽气能力。如SIP400ASL型泵在1x10-7P下抽速达到340L/S;在1x10-8Pa 下抽速达到200L/S。

    2、在极高真空(XHV)区域,SKY溅射离子泵仍有较大抽气能力。使用符合国家检测标准的检测装置,得到最低3.6x10-10Pa的检测压力。通过优化设计的高端400L溅射离子泵,极限压力测试的下限已进入10-11Pa。

    3、SKY 溅射离子泵推荐在系统工作压强低于1x10-7Pa环境下使用,让离子泵发挥出最佳抽气性能。

 

产品应用领域

    SKY溅射离子泵产品专为超高真空的用户设计,可广泛应用于各种超高真空的科研装置和工业设备,涉及的行业有仪器仪表、粒子加速器、同步辐射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科学、空间模拟、电子显微镜、质谱仪、通讯、真空校准、真空冶炼、真空镀膜、半导体应用设备、真空电子器件、医疗等行业。

首页 上一页 1 下一页 尾页
 
QQ在线咨询
在线QQ客服
3249891528
咨询热线
024-23826855